HPG400 大氣壓到高真空真空計

HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計

INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術(shù)與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規(guī)管中，可測量 2×^10-6 mbar 至大氣氣壓（1.5×^10-6 Torr 至大氣氣壓）范圍內(nèi)的壓力。HPG400 提供高可重復(fù)性和再現(xiàn)性壓力測量，實現(xiàn)精確控制鍍?yōu)R過程壓力。

好處

• HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

• 高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X ^10-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力，進而改善過程控制

• 用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X ^10-2 至 1 mbar 之間啟動

• 皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

• 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 符合 RoHS 標(biāo)準

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應(yīng)用

• 工業(yè)鍍膜

• 低真空至高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制