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美國EXTORR殘余氣體分析儀特點(diǎn)
美國EXTORR殘余氣體分析儀特點(diǎn)
更新時(shí)間：2015-09-18 點(diǎn)擊次數(shù)：2372
美國EXTORR
殘余氣體分析儀特點(diǎn)
•操作簡單
•可靠，方便
•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
•對真空系統(tǒng)檢漏
美國EXTORR殘余氣體分析儀在工藝中的效果
•改善質(zhì)量
•提高流片量
•減少停機(jī)時(shí)間
•改進(jìn)工藝
•縮小工藝周期
•降低成本
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磁控濺射陰極技術(shù)及特點(diǎn)
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