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近年來，電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測量下限可達lO-3Pa。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬彈...

流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周質(zhì)量流量計期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號，這兩個信號差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計算機解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量...

渦輪分子的使用和維護一、總體安裝注意：1.安裝前應(yīng)檢查分子泵運輸中是否損壞。2.打開泵高真空端法蘭蓋板，波動渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，無異?，F(xiàn)象。3、安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。4、確認(rèn)防護網(wǎng)已安裝，特殊情況下做特殊防護網(wǎng)。5、確認(rèn)已裝入潤滑油。6、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平;油潤滑：豎直方向+/-5;潤脂油：任意角度二、油池安裝1、拆下注油2、油量控制3、油池衛(wèi)生、防顆粒。4、對好、對稱上緊螺釘。5、防止有漏，減少“油黑”三、進出口法蘭、冷卻水安裝1、泵入口：對正...

在電工電子工業(yè)中應(yīng)用的氦質(zhì)譜檢漏儀及其輔助設(shè)備：電工電子產(chǎn)品由于密封不良，將會造成產(chǎn)品的漏氣漏液，從而降低電性能，有時還會造成本身及附近產(chǎn)品的腐蝕現(xiàn)象，甚至使產(chǎn)品破壞喪失全部功能，以致造成巨大的或不可挽回的損失。根據(jù)使用條件不同，應(yīng)對產(chǎn)品提出不同的密封要求，據(jù)此國家標(biāo)準(zhǔn)局于1982年批準(zhǔn)了GB2423，2382關(guān)于“電工電子產(chǎn)品基本環(huán)境試驗規(guī)程試驗Q：密封”做為*標(biāo)準(zhǔn)，這個標(biāo)準(zhǔn)*等效于IEC65-2-17試驗Q密封的正文部分。而試驗導(dǎo)則則*等效于IEC-68-2-17試驗密封...

氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度zui高，用得zui普遍的檢漏儀器。壓力容器是指盛裝氣體或者液體，承載一定壓力的密閉設(shè)備。貯運容器、反應(yīng)容器、換熱容器和分離容器均屬壓力容器。常見的有反應(yīng)器、杜瓦瓶、熱交換器、冷凝器等。壓力容器在生產(chǎn)制造過程中需要進行焊接工序，完成后必須進行密封性泄露測試保證產(chǎn)品的密封性。若發(fā)生微小泄露，容器中儲存氣體會逐漸流失，直接對企業(yè)造成經(jīng)濟損失；若儲存的是有毒有害氣體，還會造成周...

“真空度”顧名思義就是真空的程度。是真空泵、微型真空泵、微型氣泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等抽真空設(shè)備的一個主要參數(shù)。處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。若所測設(shè)備內(nèi)的壓強低于大氣壓強，其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值，即：真空度=（大氣壓強—壓強）外層空間的能量傳輸與超高真空中的能量傳輸相似，故超高真空可用作空間模擬。在超高真空條件下，單分子層形成的時間長（以小時計），這就可以在一個表面尚...

質(zhì)譜分析儀用于監(jiān)測復(fù)雜過程的四極氣體分析系統(tǒng)。允許7天24小時連續(xù)監(jiān)測,達到zui大的產(chǎn)額和產(chǎn)量,從而將成本降至zui低。足夠的小型和性能,可安裝在壓強很高的真空室內(nèi)。HexBlock取樣系統(tǒng)的*性能。內(nèi)置CDG,用于過程壓強監(jiān)測和真空聯(lián)鎖。備有可選的校準(zhǔn)參考源,用于調(diào)諧和氣體參。封閉的長壽命離子源可在阻擋大多數(shù)腐蝕性和反應(yīng)性氣體的同時,檢測亞ppm量級的污染物。重量輕,易搬運。質(zhì)譜分析儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測器為核心。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電...

什么是質(zhì)量流量計（MFC）?質(zhì)量流量計，即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController（縮寫為MFC）,不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)...

真空測量儀是新一代智能復(fù)合真空測量儀。采用單片微機進行數(shù)據(jù)處理，真空度讀數(shù)數(shù)字顯示，測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。真空測量儀：電離規(guī)管的除氣可以自動或手動進行。采用數(shù)據(jù)記憶電路，熱偶部分可在校準(zhǔn)時直接將與熱偶電勢相對應(yīng)的真空度數(shù)值，通過面板上的按鈕置人儀器內(nèi)部記憶單元。儀器可按有限個校準(zhǔn)點構(gòu)成的校準(zhǔn)曲線進行真空度測量。電離部分則可以將電離規(guī)管的校準(zhǔn)系數(shù)置入儀器內(nèi)部記憶單元。測量時可以對讀數(shù)進行修正，測量精度高。采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可...

真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器。真空規(guī)管測量出來的信號傳輸?shù)秸婵沼嬌辖?jīng)過放大處理就可以顯示出被測真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測量領(lǐng)域，如真空鍍膜，太陽能集熱管制作，真空冶煉等。真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置，是指電離規(guī)管，玻璃管端部用老虎鉗夾破一點，插進真空室密封好，必須大氣狀態(tài)完成。（還有電阻規(guī)它是測粗真空的，這種沒有規(guī)管，就一個傳感器）用來監(jiān)測真空度的，，電離規(guī)開啟一般是有要求的，當(dāng)壓強到3PA以下才開真空，可設(shè)置壓強參數(shù)，到了會自動開，過早開會氧化電...

工業(yè)部門應(yīng)用實例備注電子工業(yè)半導(dǎo)體材料、電介質(zhì)材料、導(dǎo)電材料、超導(dǎo)材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等低基片溫度機械工業(yè)耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等厚膜光學(xué)工業(yè)反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、反射鏡保護膜低基片溫度裝飾塑料涂層、陶瓷涂層、彩虹包裝等厚膜航天及交通導(dǎo)電玻璃擋風(fēng)玻璃電子工業(yè)：半導(dǎo)體材料、電介質(zhì)材料、導(dǎo)電材料、超導(dǎo)材料、太陽能電池、集成線路及電路元件等。低基片溫度機械工業(yè)：耐蝕、耐熱、耐摩擦性能保護性材料等。厚膜光學(xué)工業(yè)：反射膜、選擇性透光膜、光集積回路、...

膜厚可控性和重復(fù)性好控制靶電流可以控制膜厚通過濺射時間控制膜厚薄膜與基片的附著力強高能量的濺射原子產(chǎn)生不同程度的注入現(xiàn)象，形成一層偽擴散層基片在成膜過程中始終在等離子區(qū)中被清洗和激活，清除了附著力不強的濺射原子，凈化且激活基片表面。可以制備特殊材料的薄膜可濺射幾乎所有的固體（包括粒狀、粉狀的物質(zhì)），不受熔點的限制。使用不同材料同時濺射制備混合膜、化合膜?？芍苽溲趸锝^緣膜和組分均勻的合金膜?？赏ㄈ敕磻?yīng)氣體，采用反應(yīng)濺射方法制備與靶材*不同的新的物質(zhì)膜。如用硅靶制作二氧化硅絕緣...